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预加热滑动双温区PECVD系统
天津中环电炉股份有限公司价格：￥300000元￥350000元 产品资料：下载
所在地：厂商性质：生产商
品牌：天津中环电炉型号：
公司电话：022-26980130
公司传真：022-26980123
| 15122725930 李经理(联系我时，请说明是在中国化工豪赢体育网上看到的，谢谢) |
促销时间：2017-07-04 至 2017-08-04
促销说明：
预加热滑动双温区PECVD系统产品应用：
预加热滑动双温区PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
预加热滑动双温区PECVD系统产品组成：
此款配置：
1.1200度开启式双温区真空管式炉
2.滑动系统分为手动、电动滑动，并配置管内测温系统。
3.预加热开启式管式电炉
4.等离子射频电源
5.多路质量流量控制系统
6.真空系统（可选配中真空或高真空）
产品特点：
生长温度低；沉积速率快；成膜质量好，适用范围广，设备简单。
预加热滑动双温区PECVD系统产品特点： 生长温度低；沉积速率快；成膜质量好，适用范围广，设备简单。
预加热滑动双温区PECVD系统产品应用：
预加热滑动双温区PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
产品组成：
此款配置：
1.1200度开启式双温区真空管式炉
2.滑动系统分为手动、电动滑动，并配置管内测温系统。
3.预加热开启式管式电炉
4.等离子射频电源
5.多路质量流量控制系统
6.真空系统（可选配中真空或高真空）
产品特点：
生长温度低；沉积速率快；成膜质量好，适用范围广，设备简单。
